SCD-1500型半導體C-V特性分析儀

關鍵詞：半導體，C-V特性，集成電路

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀創(chuàng)新性地采用了雙CPU架構、Linux底層系統(tǒng)、10.1英寸電容式觸摸屏、中英文操作界面、內置使用說明及幫助等新一代技術，適用于生產線快速分選、自動化集成測試及滿足實驗室研發(fā)及分析。半導體C-V特性分析儀測試頻率為10kHz-2MHz，VGS電壓可達±40V，足以滿足二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體件CV特性測試分析。

一、主要應用范圍：

半導體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

半導體材料
晶圓、C-V特性分析

液晶材料
彈性常數(shù)分析

二、性能特點：

通道：2（可擴展至6）

高偏置：VGS：0 - ±40V，VDS：0–200V,1500V,3000V

雙CPU架構，最短積分時間0.56ms（1800次/秒）

10.1英寸電容式觸摸屏，分辨率1280*800，Linux系統(tǒng)

點測、列表掃描、圖形掃描(選件)三種測試方式

四寄生參數(shù)（Ciss、Coss、Crss、Rg）同屏顯示

快速導通測試Cont

一體化設計：LCR+高壓源+繼電器矩陣

快速充電，縮短電容充電時間，實現(xiàn)快速測試

自動延時設置

10檔分選

三、功能特點

A.單點測試，10.1英寸大屏，四種寄生參數(shù)同屏顯示，讓細節(jié)一覽無遺

10.1英寸觸摸屏、1280*800分辨率，Linux系統(tǒng)、中英文操作界面，支持鍵盤、鼠標、LAN接口，帶來了無以倫比的操作便捷性。

MOSFET最重要的四個寄生參數(shù)：Ciss、Coss、Crss、Rg在同一個界面直接顯示測量結果，并將四個參數(shù)測試等效電路圖同時顯示，一目了然。

多至6個通道測量參數(shù)可快速調用，分選結果在同一界面直接顯示。

B.列表測試，靈活組合

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀支持最多6個通道、4個測量參數(shù)的測試及分析，列表掃描模式支持不同通道、不同參數(shù)、不同測量條件任意組合，并可設置極限范圍，并顯示測量結果 。

C.曲線掃描功能（選件）

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 。

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C.曲線掃描功能（選件）

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 。

D.簡單快捷設置

E.10檔分選及可編程HANDLER接口

儀器提供了10檔分選，為客戶產品質量分級提供了可能，分選結果直接輸出至HANDLER接口。

在與自動化設備連接時，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動化客戶的難題，TH510系列將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對應信號、應答方式等可視化，讓自動化連接更簡單。

F.支持定制化，智能固件升級方式

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀客戶而言是開放的，儀器所有接口、指令集均為開放設計，客戶可自行編程集成或進行功能定制，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新。

儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等，都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新，而無需返廠進行。

固件升級非常智能，可以通過系統(tǒng)設置界面或者文件管理界面進行，智能搜索儀器內存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內升級包，并自動進行升級

G.半導體元件寄生電容知識

在高頻電路中，半導體器件的寄生電容往往會影響半導體的動態(tài)特性，所以在設計半導體元件時需要考慮下列因數(shù)在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結電容帶來的影響；MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅動能力和開關損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴性在電路設計中也是至關重要，以MOSFET為例。

技術參數(shù)

1、通道：2通道（可擴展6通道）

2、顯示：液晶顯示，觸摸屏

3、 測量參數(shù)：C、L、X、B、R、G、D、Q、ESR、Rp、θ、|Z|、|Y|

4、測試頻率：10kHz-2MHz

5、 精度：0.01%

6、分辨率：10mHz  1.00000kHz-9.99999kHz

7、電壓范圍：5mVrms-2Vrms

8、精度：±（10%×設定值+2mV）

9、 VGS電壓： ±40V，準確度：1%×設定電壓+8Mv,分辨率;1mV(0V-±10V)

10、 VDS電壓：0 - 200V

11、精度：1%×設定電壓+100mV

12、 1%×設定電壓+100mV

13、輸出阻抗：100Ω，±2%@1kHz

14、軟件：C-V特性曲線分析，對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描